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精密测试仪器
 

序号

仪器名称

测试项目

测试范围

测量不确定度

1

红外光谱透射比
反射比测试装置

红外光谱透射比
红外光谱镜面反射比

波长:(2.5—15)μm
入射角:6 —45

透射比0.5%
反射比0.5%

2

可见红外单色仪
测试装置

光源辐射光谱

波长:(0.19—25)μm

波长准确度:0.05nm
分辨率0.008nm

3

瞬态分光辐射仪

各种瞬态(或稳态)辐
射源的相对光谱功率
分布曲线及相关色度
学参数,如脉冲氙灯、
各种火炸药、炮口火
焰及各种闪光光源光
辐射参数的测量

波长:(220—1100)nm
   (380—780)nm

5%
2%

4

瞬态光度参数测试仪

各种瞬态光源的有效
光强、照度、瞬态照度
的峰值照度及闪光频
率等

有效光强:(10-1—10)cd
瞬态照度:(10-2—106)lx
峰值照度:(10—107)lx
闪光频率:(1-103)hz

≤2%
≤2%

5

红外准直光谱辐射照度

红外准直光谱辐射照度

温度:(50—1000)C
波长:(1—14)μm
光谱辐照度范围:
(1—3)μm 3×10-14w/cm2
(3—5)μm 3×10-11w/cm2
(8—14)μm 3×10-14w/cm2

1.5%—4%

6

激光功率计

激光输出功率

波长:(0.3—1.1)μm
功率:(0—100)mw

1.2%

7

激光功率计

激光输出功率

波长:(0.45—1.1)μm
功率:0.1mw—100mw

5%

8

激光光束诊断仪

激光空间强度分布模式
束散角、高斯分布参数

波长:(0.2—1.1)μm
   (0.6—14)μm

空间分辨力:
25μm
  7%
空间分辨力:
270
线   10%

9

消光比测试仪

光学材料消光比

波长:632.8nm

0.5db

10

白聚焦透镜参数测
试仪

数值孔径

(φ0.4—φ5)mm

0.01

分辨力

(2—400)线队mm
(φ0.4—φ5)mm

5%

焦距

(4—200)mm

0.9%

光斑直径

波长:(400—780)nm
   1300nm
   1550nm

0.08μm

11

光电自动折射半测
试仪

光学材料折射率

波长:(0.4—0.7)μm
   (0.7—2.7)μm
   (2.7—14)μm

5×10-6
3×10-5
2×10-4

12

V棱镜折射率测试仪

无色光学玻璃折射率

折射率1.4—1.8

5.4×10-5

13

光纤传输特性测试

多模、单模光纤光滑
损耗、单模光纤截止
波长很模场直径

波长:(700—1700)nm

0.02dB/km

14

光纤面板数值孔径
测试仪

光纤面板数值孔径

φ30mm

5%

15

光纤面板透过率测
试仪

光纤面板的光谱透
射比、积分透射比

φ30mm 波长:(400—900)nm

2%

16

光学材料应力仪

光学材料应力双折射

φ300mm

3nm

17

光学材料应力双折
射测试仪

光学材料应力双折射

波长:552nm

0.25nm

18

红外材料应力双折
射测试仪

红外材料应力双
折射光程差

波长:3.39μm
φ
300mm

15nm(2σ)

19

光学传递函数测试仪

光学调制传递函数
MTF

波长:(0.4—0.77)μm
孔径:φ150mm

 
0.03
(轴上)
0.05
(轴外)

20

大口径、长焦距
OTF
测试仪

光学传递函数MTF
PTF
、焦距 、光学系
统透射比( )放大率

波长:
  (0.4—1.1)μmMTF
  (3—5)μmMTF
  (8—12)μm
准直仪孔径:φ500mm

 
0.03
(轴上)
0.05
(轴外)

21

大平面波相差测试仪

平面平晶

波长:0.633μm
φ245mm

λ/50

22

波象差测试仪

球面面形

φ100mm

λ/15

抛物面面形

φ100mm以内
φ300mm
以内

λ/20
λ/10

柱面面形

 

λ/4

23

红外干涉仪及干涉
干涉图象自动测试系统

(1)红外光学材料折射
率均匀性
(2)
红外光学系统的技
术参数
(3)
红外光学系统的波像
差和成像质量评价
参数(4)非球面
(5)
微米量级相当的光
电子器件和精密机械
零件的面形

φ260mm
波长:10.6μm

λ/130

24

倍率计检定装置

柱面面形

(0—10)mm
(5—75)mm

≤0.01mm
≤0.05mm

25

焦距仪检定装置

焦距

f(±10mm — ±1000mm)

≤0.1%

26

杂光系数测定仪

望远系统、照相系统
的杂光系数

积分球直径2000mm
光栏孔径200mm

0.7%

27

透射比测定仪

光学零部件、整机的积
分透射比、光学元件的
反射比

φ≤40mm
透射比范围:0—100%

1%

28

高精度曲率半径测
试仪

球面对样板曲率半

r(1000—10)mm

1×10-5—1×10-4

29

万能光具座

光学元器件、几何
参数、象质检验

φ150mm
f=1875mm

 

30

非球面面形测试仪

各种非球面面形

 

λ/5—λ/50

31

望远镜综合参数测
试仪

放大率
光轴平行性
像倾斜
视度零位

-2° —+2°
3-24
垂直-10'—+10'
水平-20'—+20'

象倾斜示值误差:3'
放大率示值误差:1%
平行度:< 0.5'
平行度:< 0.2'

32

微光象增强器参
数测试装置

光阴极灵敏度

白光:1μA/1m
   -4000μA/1m
辐射:1mA/w
-200mA/w

6%

分辨力

(5-71)lp/mm

4%

亮度增益

10cd·m-2/lx—
1×105cd·m-2/lx

6%

等效背景照度

(1×10-8—1×10-4)lx

6%

亮度均匀性

 

6%

输出信噪比

 

6%

几何放大率

 

3%

几何畸变

 

3%

图象同轴性

 

6%

33

测量各种辐射量

等效背景照度

波长:
   (0.7-19.5)μm
噪声等效光谱辐亮度
MCT探测器
5×10-9w/cm2srcm-1
Insb探测器
5×10-10w/cm2srcm-1

 

34

-60。C--80。C黑体
辐射测量装置
变温黑体
镓凝固点黑体

测量常温黑体辐射量

标准黑体源
定点黑体源

温度:60。C—80。C

    -60。C—80。C
定点温度:29.07646。C

发射率≥0.999
温度稳定性0.05k/h
有效发射率≥0.9999
温度复线性2×10-4。C

35

激光皮秒脉冲宽度
及峰值功率测定仪

测量激光脉冲宽度
及时域分布曲线

脉冲持续时间
   (10-12—10-9)S
波长:
   (300—1200)nm

脉宽<3%

 


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